Precyzyjny 304 Składnik jamy półprzewodnikowej ze stali nierdzewnej: frezowanie o wysokiej dokładności z rygorystyczną kontrolą pionowości i płaskości

Z powodzeniem wyprodukowaliśmy precyzyjnyKomponent jamy półprzewodnikowej ze stali nierdzewnej 304do zastosowań w komorach procesowych półprzewodników. Ten krytyczny komponent komory próżniowej wymaga wyjątkowychprostopadnośćipłaskośćzapewnienie niezawodnego uszczelniania i precyzyjnego wyrównania komponentów w wymagających środowiskach produkcyjnych półprzewodników.

Przegląd projektu

Kluczowe cechy techniczne

• Ultra-rygorystyczna kontrola geometryczna : Osiągniętepłaskość ≤0,005 mmna powierzchniach uszczelniających orazprostopadność ≤0,01 mmpomiędzy krytycznymi cechami, zapewniając szczelnienie próżniowe bez wycieków i precyzyjne wyrównanie komponentów w zespołach komor półprzewodnikowych.
• Innowacje procesowe:
  • Obróbka cieplna zmniejszająca stres : Wstępna obróbka wyżarowania zmniejszającego napięcie eliminuje napięcia pozostałe materiału, zapobiegając zakłóceniom geometrycznym podczas operacji wykończeniowych.
  • Wieloetapowa strategia wykończenia : Szrośliwe, półwykończenie i ultraprecyzyjne wykończenie z zoptymalizowanymi parametrami cięcia osiągają płaskość i prostopadność pod mikronem.
  • Mocowanie niskiego napięcia : Niestandardowe rozwiązania mocowania minimalizują zniekształcenia przedmiotu obrabianego podczas mocowania, zachowując integralność geometryczną podczas całego procesu obróbki.
• Integralność powierzchni:
  • Precyzyjne wykończenie dostarczaRa ≤ 0,8 μmwykończenie powierzchni na krytycznych powierzchniach uszczelniających.
  • Kontrolowane parametry obróbki minimalizują utwardzanie pracy i wady powierzchniowe.

Weryfikacja jakości

Każdy składnik poddał się kompleksowej kontroli przy użyciuPomiar CMMdla płaskości (≤0,005mm), prostopadności (≤0,01mm) i dokładności wymiarowej, uzupełnione badaniem szorstkości powierzchni (Ra≤0,8μm) i inspekcją wizualną integralności powierzchni.

Zastosowania przemysłowe

Ten projekt pokazuje naszą wiedzę w dziedzinieprecyzyjne komponenty komory próżniowej półprzewodnikowejidealny do:
✓ Komory procesowe półprzewodnikowe ✓ Sprzęt do osadzania próżniowego ✓ Systemy trawienia plazmowego ✓ Zespoły komory CVD/PVD

Dlaczego współpracować z nami?

• Sprawdzoneultraprecyzyjne doświadczenie w frezowaniudo wymagających tolerancji geometrycznych
• Zintegrowanyobróbka cieplna zmniejszająca stresimocowanie niskiego napięciamożliwości
• 12+ lat odPrecyzyjna obróbkadoświadczenie w branży wyposażenia półprzewodnikowego