Präzision 304 Edelstahl Halbleiter Hohlraum Komponente: Hochpräzise Fräsen mit strikter Perpendikularität und Ebenheit Kontrolle

Wir haben erfolgreich eine hochpräzise304 Edelstahl Halbleiter Hohlraum Komponentefür eine Halbleiterprozesskammeranwendung. Diese kritische Vakuumkammerkomponente erfordert außergewöhnlichesenkrecht und Ebenheitum eine zuverlässige Dichtung und eine präzise Ausrichtung der Komponenten in anspruchsvollen Halbleiterherstellungsumgebungen zu gewährleisten.

Projektübersicht

Wichtige technische Highlights

• Ultra-strenge geometrische Kontrolle : ErreichtEbenheit ≤0.005mmauf Dichtflächen undsenkrecht ≤0.01mmzwischen kritischen Merkmalen, die eine leckfreie Vakuumdichtung und eine präzise Ausrichtung der Komponenten in Halbleiterkammeranordnungen gewährleisten.
• Prozessinnovation:
  • Stress-Relief WärmebehandlungVorbearbeitung: Das Spannungsentlastungsglühen beseitigt Materialrestspannungen und verhindert geometrische Verzerrungen während der Fertigungsvorgänge.
  • Mehrstufige Fertigungsstrategie : Raue, Halbfertigung und ultrapräzise Fertigungsdurchgänge mit optimierten Schneidparametern erzielen Sub-Mikron-Ebenheit und senkrecht.
  • Spannungsarme BefestigungMaßgeschneiderte Befestigungslösungen minimieren Werkstückverzerrungen beim Klemmen und bewahren die geometrische Integrität während des gesamten Bearbeitungsprozesses.
• Oberflächenintegrität:
  • Präzisionsfertigung liefertRa ≤ 0,8 μmOberflächenverbindung auf kritischen Dichtflächen.
  • Kontrollierte Bearbeitungsparameter minimieren Arbeitshärtung und Oberflächenfehler.

Qualitätsprüfung

Jede Komponente wurde umfassend geprüft mitCMM Messungfür Ebenheit (≤0,005mm), senkrecht (≤0,01mm) und Maßgenauigkeit, ergänzt durch Oberflächenrauheitsprüfung (Ra≤0,8μm) und visuelle Inspektion für Oberflächenintegrität.

Industrieanwendungen

Dieses Projekt zeigt unsere Expertise inPräzisionshalbleitervakuumkammerkomponentenIdeal für:
✓ Halbleiterprozesskammern ✓ Vakuum-Ablagerausrüstung ✓ Plasma Ätzsysteme ✓ CVD/PVD Kammeranordnungen

Warum mit uns zusammenarbeiten?

• Bewährtultrapräzise Fräskompetenzfür anspruchsvolle geometrische Toleranzen
• Integriertspannungsentlastende Wärmebehandlung und Spannungsarme BefestigungFähigkeiten
• 12+ JahrePräzisionsbearbeitungErfahrung im Bereich Halbleitergeräte