Component de cavité de semi-conducteur en acier inoxydable de précision 304: fraisage de haute précision avec contrôle strict de la perpendicularité et de la planéité

Nous avons fabriqué avec succès une haute précisionComposant de cavité semi-conducteur en acier inoxydable 304pour une application de chambre de procédé semi-conducteur. Ce composant critique de la chambre à vide exigeperpendiculairitéetPlanitudepour assurer un étanchéité fiable et un alignement précis des composants dans des environnements de fabrication de semiconducteurs exigeants.

Aperçu du projet

Principaux points forts techniques

• Contrôle géométrique ultra-strict : Réaliséplanéité ≤0.005mmsur des surfaces d'étanchéité etperpendiculairité ≤0.01mmentre caractéristiques critiques, assurant un étanchéité sous vide sans fuite et un alignement précis des composants dans les assemblages de chambres semi-conducteurs.
• Innovation de processus:
  • Traitement thermique de soulagement du stress : Le recuit pré-usinage soulage les contraintes élimine les contraintes résiduelles du matériau, empêchant la distorsion géométrique lors des opérations de finition.
  • Stratégie de finition en plusieurs étapesLes passes de finition rugueuses, semi-finies et ultra-précises avec des paramètres de coupe optimisés réalisent une aplatitude et une perpendicularité sous-micron.
  • Fixation à faible tensionLes solutions de fixation personnalisées minimisent la distorsion de la pièce pendant le serrage, préservant l'intégrité géométrique tout au long du processus d'usinage.
• Intégrité de surface:
  • La finition de précision fournitRa≤0.8μmfinition de surface sur des surfaces d'étanchéité critiques.
  • Les paramètres d'usinage contrôlés minimisent le durcissement du travail et les défauts de surface.

Vérification qualité

Chaque composant a subi une inspection complète en utilisantMesure CMMpour la planéité (≤0,005mm), la perpendicularité (≤0,01mm) et la précision dimensionnelle, complétée par des tests de rugosité de surface (Ra≤0,8μm) et une inspection visuelle pour l'intégrité de la surface.

Applications pour l'industrie

Ce projet démontre notre expertise encomposants de chambre à vide semi-conducteurs de précisionidéal pour :
✓ Chambres de procédé semi-conducteurs ✓ Équipement de dépôt sous vide ✓ Systèmes de gravure au plasma ✓ Assemblages de chambres CVD/PVD

Pourquoi nous associer ?

• Prouvéexpertise en fraisage ultra-précisionpour des tolérances géométriques exigeantes
• Intégrétraitement thermique de soulagement du stressetFixation à faible tensioncapacités
• 12+ ans deusinage de précisionexpérience dans les secteurs des équipements semiconducteurs