Componente della cavità semiconduttore in acciaio inossidabile di precisione 304: fresatura ad alta precisione con rigorosa perpendicolarità e controllo della piattezza

Abbiamo realizzato con successo un'alta precisioneComponente della cavità semiconduttore in acciaio inossidabile 304per applicazioni in camera di processo a semiconduttori. Questo componente critico della camera a vuoto richiede eccezionaliperpendicolaritàepiattezzaper garantire una tenuta affidabile e un allineamento preciso dei componenti in ambienti di produzione di semiconduttori esigenti.

Panoramica del progetto

Principali punti salienti tecnici

• Controllo geometrico ultra-rigoroso : raggiuntopiattezza ≤0.005mmsulle superfici di tenuta eperpendicolarità ≤0.01mmtra caratteristiche critiche, garantendo una tenuta sotto vuoto senza perdite e un allineamento preciso dei componenti in assemblaggi di camere a semiconduttori.
• Innovazione dei processi:
  • Trattamento termico stress-reliefLa ricottura anti-tensione della pre-lavorazione elimina le tensioni residue del materiale, evitando la distorsione geometrica durante le operazioni di finitura.
  • Strategia di finitura multifaseI passaggi di finitura di rugosità, semi-finitura e ultra-precisione con parametri di taglio ottimizzati consentono una pianura e una perpendicolarità sub-micron.
  • Fissaggio a bassa tensioneSoluzioni di fissaggio personalizzate minimizzano la distorsione del pezzo durante il serramento, preservando l'integrità geometrica durante tutto il processo di lavorazione.
• Integrità della superficie:
  • Finitura di precisione consegnaRa≤0.8μmfinitura superficiale su superfici di tenuta critiche.
  • I parametri di lavorazione controllati minimizzano l'indurimento del lavoro e i difetti superficiali.

Verifica qualità

Ogni componente è stato sottoposto a un'ispezione completa utilizzandoMisurazione CMMper la piattezza (≤0,005mm), la perpendicolarità (≤0,01mm) e la precisione dimensionale, completata da test di rugosità della superficie (Ra≤0,8μm) e ispezione visiva per l'integrità della superficie.

Applicazioni Industriali

Questo progetto dimostra la nostra esperienza incomponenti della camera a vuoto a semiconduttore di precisioneIdeale per:
✓ Camere di processo a semiconduttore ✓ Apparecchiature di deposizione sotto vuoto ✓ Sistemi di incisione al plasma ✓ Assemblaggi di camere CVD/PVD

Perché collaborare con noi?

• Provataesperienza di fresatura ultra-precisioneper esigenti tolleranze geometriche
• integratotrattamento termico stress-reliefefissaggio a bassa tensionecapacità
• 12+ anni diLavorazione di precisioneesperienza nei settori delle apparecchiature a semiconduttori